具有較強(qiáng)的抗干擾能力,對(duì)環(huán)境條件的要求不像激光干涉?zhèn)鞲衅髂菢訃?yán)格,但不如感應(yīng)同步器和磁柵式傳感器的適應(yīng)性強(qiáng),油污和灰塵會(huì)影響它的可靠性。主要適用于實(shí)驗(yàn)室條件下工作,也可在環(huán)境較好的車間中使用。?高精度光柵的成本高。光柵式傳感器在幾何量測(cè)量領(lǐng)域中多用于測(cè)量長度(或直線位移)和角度(或角位移)。具體應(yīng)用有如下幾個(gè)方面:?長度和角度的精密計(jì)量?jī)x器。如線值計(jì)量的工具顯微鏡、測(cè)長儀、比長儀,以及三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等;角度計(jì)量的分度頭、圓轉(zhuǎn)臺(tái),以及度盤檢驗(yàn)儀等。