張小沿188 0592 1705

我國集成電路核心裝備國產化在京獲重大進展。日前從北京經濟技術開發(fā)區(qū)獲悉，中芯北京廠使用國產設備加工的12寸正式產品晶圓加工突破一千萬片次，標志著集成電路國產設備在市場化大生產中得到充分驗證，國產設備技術和市場競爭力邁上了一個新臺階。

有消息稱，正是由于工藝制造的高精度和復雜度，芯片生產需要機械、電子、軟件、控制、材料等多個學科的配合。集成電路生產線上刻蝕機、氧化機、薄膜、光刻、離子注入等設備，一直都由歐美日少數公司掌握。BAND-IT A40199 A30199

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